Главная → ВОПРОСЫ НАУКИ → ПРИМЕНЕНИЯ SMART-CUT ТЕХНОЛОГИИ К ПРОЦЕССАМ ПОЛУЧЕНИЯ CТРУКТУР КНИ И ТОНКИХ СЛОЕВ ГЕРМАНИЯ И СЛОЕВ КРЕМНИЙ/ГЕРМАНИЙ НА КРЕМНИИ И ИЗОЛЯТОРЕ
ПРИМЕНЕНИЯ SMART-CUT ТЕХНОЛОГИИ К ПРОЦЕССАМ ПОЛУЧЕНИЯ CТРУКТУР КНИ И ТОНКИХ СЛОЕВ ГЕРМАНИЯ И СЛОЕВ КРЕМНИЙ/ГЕРМАНИЙ НА КРЕМНИИ И ИЗОЛЯТОРЕ
Дата публикации: 23 августа 2010 Автор(ы):Е.П.Прокопьев → Публикатор: Prokopiev Рубрика:ВОПРОСЫ НАУКИ ВОПРОСЫ НАУКИ → Источник: (c) http://portalus.ru → Номер публикации: №1282569201
По международным научным стандартам и по ГОСТу РФ 2003 г. (ГОСТ 7.1-2003, "Библиографическая запись")
Е.П.Прокопьев, ПРИМЕНЕНИЯ SMART-CUT ТЕХНОЛОГИИ К ПРОЦЕССАМ ПОЛУЧЕНИЯ CТРУКТУР КНИ И ТОНКИХ СЛОЕВ ГЕРМАНИЯ И СЛОЕВ КРЕМНИЙ/ГЕРМАНИЙ НА КРЕМНИИ И ИЗОЛЯТОРЕ [Электронный ресурс]: электрон. данные. - Москва: Научная цифровая библиотека PORTALUS.RU, 23 августа 2010. - Режим доступа: https://portalus.ru/modules/science/rus_readme.php?subaction=showfull&id=1282569201&archive=1480160666&start_from=&ucat=& (свободный доступ). – Дата доступа: 23.04.2024.
По ГОСТу РФ 2008 г. (ГОСТ 7.0.5—2008, "Библиографическая ссылка")
Е.П.Прокопьев, ПРИМЕНЕНИЯ SMART-CUT ТЕХНОЛОГИИ К ПРОЦЕССАМ ПОЛУЧЕНИЯ CТРУКТУР КНИ И ТОНКИХ СЛОЕВ ГЕРМАНИЯ И СЛОЕВ КРЕМНИЙ/ГЕРМАНИЙ НА КРЕМНИИ И ИЗОЛЯТОРЕ // Москва: Научная цифровая библиотека PORTALUS.RU. Дата обновления: 23 августа 2010. URL: https://portalus.ru/modules/science/rus_readme.php?subaction=showfull&id=1282569201&archive=1480160666&start_from=&ucat=& (дата обращения: 23.04.2024).
Е.П.Прокопьев, ПРИМЕНЕНИЯ SMART-CUT ТЕХНОЛОГИИ К ПРОЦЕССАМ ПОЛУЧЕНИЯ CТРУКТУР КНИ И ТОНКИХ СЛОЕВ ГЕРМАНИЯ И СЛОЕВ КРЕМНИЙ/ГЕРМАНИЙ НА КРЕМНИИ И ИЗОЛЯТОРЕ / http://portalus.ru.