Рейтинг
Порталус

Технологии производства и методы исследования структур КНИ. Сборник статей

Дата публикации: 04 сентября 2010
Автор(ы): Ю.А.Чаплыгин, С.П.Тимошенков, В.И.Графутин,Е.П.Прокопьев
Публикатор: Prokopiev
Рубрика: ВОПРОСЫ НАУКИ ВОПРОСЫ НАУКИ →
Источник: (c) http://portalus.ru
Номер публикации: №1283578940


Ю.А.Чаплыгин, С.П.Тимошенков, В.И.Графутин,Е.П.Прокопьев, (c)

Сайт автора: http://www.prokopep.narod.ru

Бондинг (сращивание) основных материалов электроники (например, получение структур кремний на изоляторе (КНИ) и структур германий на изоляторе, многослойных структур и тонких монокристаллических слоев кремния, германия на полупроводниках и на различных изолирующих подложках, в том числе стекле) , основанной на так называемой smart-cut технологии, – это хотя и частная, но важная задача электроники, находит широкое применение в разработке и производстве новой элементной базы опто-, нано- и микроэлектроники для создания современных суперкомпьютеров, специальных радиационно- и термостойких ИС, различного рода сенсоров, датчиков, микромеханических устройств и солнечных элементов для ядерной, космической и других отраслей.
Для этого чаще всего используется Smart-cut технология, относящаяся к технологиям газового скалывания в процессе термообработки, основанная на контролируемых использованиях следующих основных процессов: создание с помощью ионной имплантации микроскопических объемных дефектов, содержащих водород; трансформация этих созданных дефектов посредством термообработок; скалывание тонкого слоя материала подложки по системам таких дефектов по всей площади пластины. Ниже предлагается физико-химическая модель сращивания гидратированных (гидроксилированных) поверхностей двух пластин кремния и пластин кремния и германия и других веществ. Для очистки и получения поверхности пластин кремния и германия с заданным химическим составом, их активирования и модифицирования предлагается использовать термообработку поверхности во влажных условиях (включая и химическую сборку поверхности по В.Б.Алесковскому) и газового скалывания (smart-cut технология). Эти методы являются весьма перспективными для получения многослойных структур и структур с использованием прямого сращивания пластин кремния, пластин кремния и германия. Известно, что группы Si-OH и Ge-OH, полученные методом молекулярного наслаивания, полимеризуются при низких температурах с образованием сильных ковалентных связей. Основываясь на этом явлении, предложены модифицированные модель и технология связывания гидрофильных пластин кремния и пластин кремния и германия, которая позволяет увеличить прочность связывания при низких температурах отжига. Рассмотрены различные технологические стадии и схема процесса производства структур структур КНИ, получения тонких монокристаллических слоев кремния на стекле с целью производства высококачественных солнечных элементов с к.п.д. ~ 14 - 15 % (причем приборная пластина кремния толщиной ~ 500 мкм может быть многократно использована (до нескольких десятков раз)) и структур германий на кремнии и изоляторе с использованием химической сборки поверхности методом молекулярного наслаивания. Проведенные нами успешные эксперименты по сращиванию окисленных поверхностей кремния и германия подтвердили выводы рассмотренной модели и модифицированной smart-cut технологии.

[Скачать файл!ЗАГРУЗИТЬ ФАЙЛ]

Опубликовано на Порталусе 04 сентября 2010 года

Новинки на Порталусе:

Сегодня в трендах top-5


Ваше мнение?


КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА (нажмите для поиска): Структуры КНИ (SOI) Методы Технологии



Искали что-то другое? Поиск по Порталусу:


О Порталусе Рейтинг Каталог Авторам Реклама