Главная → ВОПРОСЫ НАУКИ → Технологии производства и методы исследования структур КНИ. Сборник статей
Дата публикации: 04 сентября 2010
Автор(ы): Ю.А.Чаплыгин, С.П.Тимошенков, В.И.Графутин,Е.П.Прокопьев →
Публикатор: Prokopiev
Рубрика: ВОПРОСЫ НАУКИ ВОПРОСЫ НАУКИ →
Источник: (c) http://portalus.ru →
Номер публикации: №1283578940
Ю.А.Чаплыгин, С.П.Тимошенков, В.И.Графутин,Е.П.Прокопьев, (c)
Сайт автора: http://www.prokopep.narod.ru
Для этого чаще всего используется Smart-cut технология, относящаяся к технологиям газового скалывания в процессе термообработки, основанная на контролируемых использованиях следующих основных процессов: создание с помощью ионной имплантации микроскопических объемных дефектов, содержащих водород; трансформация этих созданных дефектов посредством термообработок; скалывание тонкого слоя материала подложки по системам таких дефектов по всей площади пластины. Ниже предлагается физико-химическая модель сращивания гидратированных (гидроксилированных) поверхностей двух пластин кремния и пластин кремния и германия и других веществ. Для очистки и получения поверхности пластин кремния и германия с заданным химическим составом, их активирования и модифицирования предлагается использовать термообработку поверхности во влажных условиях (включая и химическую сборку поверхности по В.Б.Алесковскому) и газового скалывания (smart-cut технология). Эти методы являются весьма перспективными для получения многослойных структур и структур с использованием прямого сращивания пластин кремния, пластин кремния и германия. Известно, что группы Si-OH и Ge-OH, полученные методом молекулярного наслаивания, полимеризуются при низких температурах с образованием сильных ковалентных связей. Основываясь на этом явлении, предложены модифицированные модель и технология связывания гидрофильных пластин кремния и пластин кремния и германия, которая позволяет увеличить прочность связывания при низких температурах отжига. Рассмотрены различные технологические стадии и схема процесса производства структур структур КНИ, получения тонких монокристаллических слоев кремния на стекле с целью производства высококачественных солнечных элементов с к.п.д. ~ 14 - 15 % (причем приборная пластина кремния толщиной ~ 500 мкм может быть многократно использована (до нескольких десятков раз)) и структур германий на кремнии и изоляторе с использованием химической сборки поверхности методом молекулярного наслаивания. Проведенные нами успешные эксперименты по сращиванию окисленных поверхностей кремния и германия подтвердили выводы рассмотренной модели и модифицированной smart-cut технологии. [ЗАГРУЗИТЬ ФАЙЛ]
Опубликовано на Порталусе 04 сентября 2010 года
Новинки на Порталусе:
Сегодня в трендах top-5
Ваше мнение ?
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА (нажмите для поиска): Структуры КНИ (SOI) Методы Технологии →
Искали что-то другое? Поиск по Порталусу:
Добавить публикацию • Разместить рекламу • О Порталусе • Рейтинг • Каталог • Авторам • Поиск
Главный редактор: Смогоржевский B.B.
Порталус в VK